最最大φ8インチ対応。
片面ブラシスクラブ洗浄、DIW+薬液ライン酸性・アルカリ性の薬液に対応しています。
コンパクトな１チャンバー構成で、自動運転にて乾燥まで行います。
| 対応Wfサイズ | φ3″～200mm |
|---|---|
| チャンバー数 | 1個 |
| チャンバー機能 | 片面スクラブスピン乾燥 |
| LD-UnLD マニュアル | マニュアル |
| フットプリント | W1000xD700xH1450mm |
| 対応アプリケーション | CMP／MEMS／CMP部材評価 |
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ZAB-8S1M
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