マニュアルローディングCMP実験装置。３インチ～300㎜ウェハに対応。ドレス機構搭載。
クラス最小のフットプリント。
クラス最小のフットプリント。
| 対応Wfサイズ | φ3″～300mm |
| プラテンサイズ | φ810mm |
| LD-UnLD | マニュアル |
| フットプリント | W1800xD1100xH2250mm |
| ドレスサイズ | φ100mmスイープ |
| 対応アプリケーション | CMP／MEMS／CMP部材評価 |
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ARW-8C1MS
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