マニュアルローディングCMP実験装置。3インチ-150mmウェハに対応。ドレス機構搭載。
| 対応Wfサイズ | 3″〜150mm |
| プラテンサイズ | 400mm |
| LD-UnLD | マニュアル |
| フットプリント | W700xD600xH1800mm |
| ドレスサイズ | 195mm dia. wheel |
| 対応アプリケーション | CMP／MEMS／CMP部材評価100mm |
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ARW-461M
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